发布时间：2025年12月7日    来源：科学研究部

近日，广州航海学院欧阳顺利教授与北京科技大学邢献然/张林兴教授（通讯作者）、清华大学李航任博士（第一作者）等单位学者合作完成的研究论文“Efficient electrodynamic stripping for 12-inch wafer-scale freestanding ferroelectric oxide membranes”在线发表于国际顶级学术期刊《Nature Communications》期刊（DOI:https://doi.org/10.1038/s41467-025-66697-6）。《Nature Communications》是Nature的子刊。它隶属于Nature集团，是一个开放获取的综合性期刊，涵盖广泛的自然科学领域。

论文页面截图

该研究提出了一种基于导电牺牲层（如LaNiO3）的定向电动力分解工艺，该工艺能够有效克服溶液渗透过程中的表面张力，使自支撑薄膜的释放速率提高到600mm/min2，比传统浸泡方法高两个数量级。定向电动力分解技术不受牺牲层厚度和面积大小的限制，能够实现无损、超快和超大的自支撑薄膜制造。研究团队成功制备出一种直径为3英寸的单晶PbZrO3自支撑薄膜。该尺寸在当前已报道的铁电单晶自支撑膜中处于国际领先地位，并能直接集成于柔性压电传感器阵列中。12英寸多晶自支撑PbZrO3膜满足工业级半导体制造的需求。这种基于导电牺牲层的定向电动力分解技术极大地提高了功能性自支撑薄膜的剥离效率，从而促进其在晶圆级电子器件中的应用。

近年来，广州航海学院坚持以学科建设为引领，持续优化学科平台布局，深化教研产深度融合，推动教师与行业专家开展产学研合作。学校在国际顶级学术期刊《Nature Communications》发表研究论文，体现了学科建设的阶段性成果，也为科研团队在先进材料领域的持续探索积累了经验。今后，学校将持续紧密对接国家重大战略需求，聚焦关键核心领域，进一步加大科研投入与高层次人才培养力度，推动更多原创性科研成果向现实生产力转化，为新材料技术领域创新与应用以及行业高质量发展注入更强“广航力量”。

初审：杨志发 刘晔珍

复审：路金林 韩瑞亮

审定：李  娜